国产350nm光刻机拿下批量商业订单,从技术验证到实现交付,仅仅耗时9个月。 这款设备100%自主可控,主要面向功率器件、MEMS、特色工艺芯片市场,快速走完从实验室到产业化的关键一步。 http://t.cn/AX0Wo2DD 发布于 北京