G线、i线低端胶国产化率已超60%,但适配7-28nm先进制程的ArF光刻胶规模化国产化率不足1%,EUV光刻胶更接近0%
全球90%以上的ArF/EUV高端光刻胶被日本JSR、信越化学、东京应化、富士胶片四家垄断。
更隐蔽的卡点在于上游,光刻胶的上游树脂、光引发剂、超高纯溶剂同样是“黑箱配方”,日企手握全球60%以上核心专利,单款高端胶研发周期普遍6-8年。
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发布于 浙江
G线、i线低端胶国产化率已超60%,但适配7-28nm先进制程的ArF光刻胶规模化国产化率不足1%,EUV光刻胶更接近0%
全球90%以上的ArF/EUV高端光刻胶被日本JSR、信越化学、东京应化、富士胶片四家垄断。
更隐蔽的卡点在于上游,光刻胶的上游树脂、光引发剂、超高纯溶剂同样是“黑箱配方”,日企手握全球60%以上核心专利,单款高端胶研发周期普遍6-8年。
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