【重大突破!国产EUV光源样机首秀:国产化率达90%】第二十六届工博会上,朗道燧岩首次公开展示国产EUV光源系统样机,为目前公开进度最靠前的同类型产品,整体国产化率达90%,标志国产EUV光源迈出从实验室走向产业化的关键一步,距离量产仍需3至5年。
发布于 北京
【重大突破!国产EUV光源样机首秀:国产化率达90%】第二十六届工博会上,朗道燧岩首次公开展示国产EUV光源系统样机,为目前公开进度最靠前的同类型产品,整体国产化率达90%,标志国产EUV光源迈出从实验室走向产业化的关键一步,距离量产仍需3至5年。