【国产EUV光源样机公开，距离量产需3到5年】在近日举行的第二十六届中国国际工业博览会上，朗道燧岩（上海）科技有限公司（简称“朗道燧岩”）首次公开展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机。这是目前公开可见的国产进度最靠前的EUV光源样机，被业界视为高端光刻机的“心脏”。目前该样机国产化率已高达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试，不过距离量产仍需3 - 5年时间。
消息称，该公司成立于 2024 年，2025 年 10 月获得张江高科旗下燧玥创投的天使轮融资，累计融资额超千万元，并入驻上海集成电路设计产业园。2026 年 1 月完成天使 + 轮融资，2026 年 7 月完成 A 轮融资，投资方包括沃衍资本、中芯聚源等。目前公司拥有燧岩、辉光、天算三大核心业务板块，分别聚焦 EUV 光源系统、大功率二氧化碳轴快流激光器以及等离子体仿真软件。