【全球首创12英寸PZT压电薄膜制备技术，实现MEMS及传感器核心材料突破】
近日，广州增芯科技有限公司（简称：增芯科技）与西安电子科技大学（简称：西电）彭彪林教授团队通过深度技术合作，采用溶胶-凝胶技术，成功研制出全球首片12英寸PZT（锆钛酸铅）压电薄膜晶圆。这一里程碑式成果，标志着我国在MEMS及传感器核心材料领域实现重要突破，打破海外长期技术垄断，推动从实验室研发到产业化落地的自主可控。http://t.cn/AXaLNhe7