中科院金属所孙东明、刘驰团队在《Nature Communications》发布突破性成果：全球首颗射频实测级硅-石墨烯-锗势垒晶体管横空出世！6月6日，这项技术宣告下代芯片制造路径彻底摆脱EUV依赖——堪称半导体史上的分水岭时刻。 #中科院# #芯片# #EUV# http://t.cn/AXaofFuC ​