美国指责世界上最大的光刻机公司 ASML，已有部分生产高端芯片的机器或设备，流入了中国，多名美国政府官员表示，他们已掌握了一些证据。

而 ASML 和荷兰政府，则向美国坚决否认。该类型光刻机，可生产 5nm、3nm 芯片。 ​