【#AI 赋能 RES 配方管理#：守住晶圆质量命门】#RES##半导体[超话]#

IEEE相关论文指出，随着半导体工艺日益复杂，配方控制的重要性日益凸显。早期，大部分配方由工艺工程师手动维护和控制——人为失误不可避免，必须通过预防性系统方法建立有效的配方控制和管理机制。
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