【没有EUV也能造5nm！国产二维半导体产线投产：绕开ASML换道超车】国产芯片企业原集微建成全球首条8英寸二维半导体工程化示范线，采用完全不依赖EUV的非硅技术路线，计划2029年实现等效5nm制程，有望为国内先进半导体探索出换道超车的全新路径。
发布于 北京
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【没有EUV也能造5nm！国产二维半导体产线投产：绕开ASML换道超车】国产芯片企业原集微建成全球首条8英寸二维半导体工程化示范线，采用完全不依赖EUV的非硅技术路线，计划2029年实现等效5nm制程，有望为国内先进半导体探索出换道超车的全新路径。