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深圳荧鸿SL8500晶圆表面缺陷检测灯可检测半导体晶圆衬底、掩模板、外延片表面缺陷

灯头里是一颗20W进口高亮LED，加上自研透镜，30厘米处照度冲到15万Lux，40厘米距离光斑直径8到16厘米，5寸和8寸晶圆刚好覆盖。灯头和调节器都能调光，平行光稳定性超过90%。

冷光源即开即用，不用预热。传统卤素灯汞灯得等半天，SL8500一按就亮，产线效率提升不止一点。LED寿命3万小时，传统灯泡50小时就得换，光换灯泡的人工都够买新灯了。功耗才20W，省电又不用频繁维护。

检测操作很简单：黑色背景板一铺，灯头调到40厘米高垂直照，外延片放上去调角度，划痕颗粒裂纹一眼就能看到。如果觉得15万Lux不够，还有30万Lux的SL8600和40万Lux的SL8900可以选。