【俄罗斯造出150纳米光刻机！性能相当于20年前的奔腾4水平】俄罗斯绿城纳米技术中心成功研制出150纳米电子束光刻机原型机，目前正推进测试，这类设备光刻速度慢，仅适配航天国防等领域小批量专用芯片生产。此外俄本土半导体产业仍存关键零部件短缺等短板。
发布于 北京
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【俄罗斯造出150纳米光刻机！性能相当于20年前的奔腾4水平】俄罗斯绿城纳米技术中心成功研制出150纳米电子束光刻机原型机，目前正推进测试，这类设备光刻速度慢，仅适配航天国防等领域小批量专用芯片生产。此外俄本土半导体产业仍存关键零部件短缺等短板。