不跟ASML拼光学镜头精度，而是换赛道拼“光源功率”。因为FEL的高功率可以实现“并行曝光”，用“大力出奇迹”弥补速度短板。英雄造时事，祝成功！[祈祷]
发布于 天津
邓育平
不跟ASML拼光学镜头精度，而是换赛道拼“光源功率”。因为FEL的高功率可以实现“并行曝光”，用“大力出奇迹”弥补速度短板。英雄造时事，祝成功！[祈祷]