准分子激光退火(ELA)是一种将TFT基础材料非晶硅(a-Si)转化为低温多晶硅(LTPS)的激光工艺。通过激光照射使原子排列无序的硅层熔化并重新结晶,能有效提高电子迁移率,从而改善TFT的性能。点击图片,一起探索准分子激光退火(ELA)的微观世界。#ELA##准分子激光退火##三星显示##星显万象#
发布于 北京
准分子激光退火(ELA)是一种将TFT基础材料非晶硅(a-Si)转化为低温多晶硅(LTPS)的激光工艺。通过激光照射使原子排列无序的硅层熔化并重新结晶,能有效提高电子迁移率,从而改善TFT的性能。点击图片,一起探索准分子激光退火(ELA)的微观世界。#ELA##准分子激光退火##三星显示##星显万象#