钨灯丝电镜
主要功能
1. 电子束与成像基础: 二者均采用钨灯丝电子枪,支持全自动电子枪合轴,确保电子束稳定发射与聚焦;在高真空模式下,二次电子像(SEI) 分辨率均达 3.0 nm(30 kV 时) ;低真空模式下,背散射电子像(BED) 分辨率均为 4.0 nm(30 kV 时) ,可清晰观察金属、半导体等样品的微观形貌。
2.加速电压范围一致,探针电流覆盖 1pA- 1μA ,可根据样品特性灵活调整电子束 “强度 ”;具备全自动辅助功能:自动调整灯丝、电子枪合轴、电子束对中、自动聚焦 / 消散、自动调节亮度与衬度,大幅降低操作门槛 。支持多模式成像: 二次电子像、背散射电子相关成像(如 REF 像、成分像等基础模式 ) ;图像尺寸均提供多种档位 ,满足不同放大倍数下的分辨率需求
3.配备蒙太奇拼接(大区域图像无缝拼接) 、Simple SEM( 自动化批量拍摄) 、Zeromag(光学图像与 SEM 图像联动,快速定位观察区域) 等功能,提升成像效率与视野定位便利性。
4.均搭载 SMILE VIEW™ Lab 软件进行
数据整合与管理,支持一键生成 Microsoft
Word/PowerPoint 格式报告,便于实验结果
的整理与分享;
5.抽真空系统均为全自动控制,配置1
台涡轮分子泵(TMP)+ 1 台旋转泵(RP) ,可快速建立并维持高真空环境,保障电子束稳定运行。
发布于 北京
