【Gigaphoton开发ArF准分子激光器气体回收系统】半导体光刻光源制造商Gigaphoton Inc.（总部：栃木县小山市；总裁兼首席执行官：Tatsuo Enami）宣布，已开发出用于ArF准分子激光器的现场氖气回收系统hTGM for ArF。http://t.cn/AXlbnCUg
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