新凯来申请公布了一项名为“一种激光控制方法、激光光源、光学系统及半导体设备”的发明专利。本申请公开了一种激光控制方法、激光光源、光学系统及半导体设备,涉及激光技术领域,该方法包括:
获取被控激光的控制参数数据;根据控制参数数据,确定输出功率误差;对输出功率误差进行频域分析,获取各预设频段各自对应的频段分析结果;频段分析结果包括功率波动和功率稳定;根据频段分析结果,触发目标控制环路,以调整被控激光的输出功率;
本申请通过对输出功率误差进行频域分析,能够将其划分至多个预设频段,实现多频段功率扰动的精准解耦控制,使不同频率扰动采用对应专属控制环路,能够兼顾调节控制的响应速度与平稳性,提升了激光输出功率的长期稳定性与控制精度,提高了晶体使用寿命。
发布于 江苏
