长鑫的第六代内存技术 G6，如果 AA Pitch 到了 20nm，那么这个 DUV+SAQP 有点极限了.... 本来常规来看，G5 这个接近 24nm 的用 SAQP 都很极限了。不过 SAQP 到现在也很久了，估计也就是个基础基础，应该还有其他辅助的手段。

PS DUV 这里算 Pitch 的话，单层 LE 76nm， SADP 38nm SAQP 19nm 是极限，只是一般大家都不会贴着这个极限走，SA*P 还涉及到对齐精度。