工博会上国产EUV光源样机首次公开亮相，国产化率90%，核心件基本自研，已能用于曝光测试，但离量产还要3到5年。EUV光源是7纳米以下制程最难啃的部件，这一步的价值不在马上替代，而在证明这条路走通。#国产EUV光源##半导体#
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耀耀耀耀哥_
工博会上国产EUV光源样机首次公开亮相，国产化率90%，核心件基本自研，已能用于曝光测试，但离量产还要3到5年。EUV光源是7纳米以下制程最难啃的部件，这一步的价值不在马上替代，而在证明这条路走通。#国产EUV光源##半导体#