一台制造 2 纳米芯片的最新一代 ASML 高数值孔径极紫外光刻机（High-NA EUV），单台售价高达 3.5 亿欧元，但它根本没办法整机发货。

这台机器由全球十万个零件拼成，重达 150 到 180 吨。每次从荷兰埃因霍温发往台积电或英特尔工厂，工程师必须先把它拆解装进 40 个特制恒温恒湿充氮集装箱，动用 20 辆重型气垫卡车 和整整 3 到 4 架波音 747 全货机 才能运走！

运输全程最怕的不是刮风下雨，而是“微米级震动”： 光刻机内部的德国蔡司（Zeiss）反射镜，表面打磨平整度达到了人类物理学的极限。如果把这块镜子等比例放大到整个德国国土那么大，上面最高的起伏凸起不超过 1 毫米！

所以装光刻机的货机地板和卡车底盘全部装有主动空气弹簧减震器，箱内贴满高灵敏度三维加速度传感器；一旦途中某次刹车或气流颠簸超出了规定的 G 值红线，哪怕外表毫发无损，落地后两百名工程师重新调校纳米光路就要多花整整 3 到 6 个月！