国产光刻机大突破!上海微电子在进博会亮出新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800/SSB800模型🔥透明剖视设计,光学光路+机电系统一目了然!I-line和KrF双技术路线全适配,高精度物镜、双工件台、自动传片系统…全部自主可控!这不仅是模型,更是国产前道光刻装备标准化架构的里程碑~#中国智造# #光刻机突破# #百味数据#
发布于 河南
国产光刻机大突破!上海微电子在进博会亮出新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800/SSB800模型🔥透明剖视设计,光学光路+机电系统一目了然!I-line和KrF双技术路线全适配,高精度物镜、双工件台、自动传片系统…全部自主可控!这不仅是模型,更是国产前道光刻装备标准化架构的里程碑~#中国智造# #光刻机突破# #百味数据#