国产光刻机亮相进博会，自主化再进一步

第九届进博会正在上海举办，上海微电子带来新一代前道干式扫描投影光刻机SSC800、SSB800模型，成为本次展会的一大看点。

这次展出的机型做了透明剖视设计，能直接看清内部光路、机电结构。这套平台是国产标准化前道光刻装备架构，适配I-line、KrF两条主流路线。物镜、照明系统、高速双工件台、对准传感等核心部件，都实现全链条自主可控，工艺适配和产线稳定性得到验证。

KrF光刻机是成熟制程芯片生产的关键设备，需求体量很大，国产化落地，能够缓解成熟制程设备被卡脖子的压力。很多芯片制造、封测厂商都有大量KrF设备替换需求。

也要客观看待，这次展出的是模型，和正式量产交付还有距离，高端EUV光刻机依旧存在不小差距。成熟制程设备突破是扎实一步，国产光刻设备的迭代，还需要持续打磨、长期验证。
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