进博会上这台光刻机，60nm 传闻还是 90nm 量产？|第九届进博会|上海微电子|干式光刻机|60nm_新浪新闻

龙科多工作室

26-11-08 16:39 微博认证：科技博主

第九届进博会上，上海微电子新一代干式光刻机模型亮相，制程已经拉到60nm了吗？ http://t.cn/AXYi5bA7

发布于上海