看到上海微电子新一代前道干式光刻机亮相进博会的消息，简单捋清楚它能干什么。可以做存储芯片，像DRAM内存、NAND闪存，也能做成熟制程逻辑芯片，还有一部分AI算力芯片、车载芯片、工控芯片都在它的覆盖范围内。同类型干式机型里，成像性能已经对标国际第一梯队，套刻精度、生产效率还在接着追标杆。多台早就落地国内头部产线稳定量产，累计流片超千万片，运行率超92%，国产半导体这块，拿到了很扎实的阶段性成果。
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