龙科多工作室
26-11-13 14:16 微博认证:科技博主

最近的上海进博会上,上海微电子展示的新款光刻机模型,引起了外界的高度关注。有营销号文章说这是关键突破,也有文章指出,模型的制程不是28nm,也不是40nm,没啥可激动的。今天这期视频我们稍微展开聊聊。

进博会的第一天,龙科多工作室的同事也去看了上海微的展台,准确来讲,是中国馆的科技成就展区。上海微的这款模型,与国产盾构机、月球车、大飞机等的模型,一起展示。

我们团队的第一印象是,相比上海微之前在各类行业展会公开展出的更大一号模型,这次的模型体积更小,名字也很简单,就写了一句话,干式光刻机。既然如此,那么,内部结构也没啥大变化,所以当时我们也没觉得多稀奇。

但进博会的第二天,上海微的公众号罕见的高调发布文章,介绍这款模型,也彻底的搅动了舆论场。

上海微的公众号介绍,该模型是新一代前道干式光刻机通用技术平台,可以适配i-line、KrF(氟化氪)两种光源,主要的设备上游模块,已经完全自主可控,目前,已经稳定量产,已经在国内头部逻辑芯片厂、存储芯片厂稳定运行,支持产线流片超千万片。

确实是难得主动宣传一次,感觉也是憋了很久,有话要讲,而且,从舆论氛围来看,也是允许讲点啥了。

果然,上海证券报根据发布了一篇报道,通过采访专家的形式,进一步披露,上海微新款光刻机模型是一款通用平台,具体型号分别是SSC-800、SSB-800,还指出新款光刻机国产化率突破90%。

以上就是若干关键的权威信息介绍。过去几年,大机器太低调了,因此,这次的主动宣传,哪怕是光刻机制程看似并不是非常先进,但还是极大的回应了外界的兴趣,推高了舆论热度。

当然,网络上出现的关于制程的夸张猜测,就有一定的误导性了。例如,有说法认为可能是90nm,甚至已经拉到60nm。龙科多起初的分析,也倾向于90nm。因为上海微在其它展会上公开的制程是110nm,按技术演进推断,这次大概率是升级到90nm。

不过,龙科多详细梳理分析后,否认了之前的猜测,目前更倾向于认为,上海微这次展示的新一代光刻机,不是制程的“新”,而是整座平台的“新”。

发布于 上海