龙科多此前节目中，介绍过上海微已有的产品型号，包括SSA600、SSC600、SSB600，这些在官网上其实都有。我们接着看型号的含义，其中，“SS”表示“步进式扫描投影光刻机”，“A、C、B”表示不同光源，分别是ArF（氟化氩）、KrF（氟化氪）、i-line，按照行业的惯例，对应的制程分别是90nm、110nm、280nm。

那么，最近在进博会上高调宣传的新型号是SSC-800、SSB-800，其中的“C、B”，也是表示光源KrF（氟化氪）、i-line，同时，也与上海微官方公众号的介绍一致，新一代平台适配KrF（氟化氪）、i-line光源技术。

既然如此，那么基本可以认为，制程没有做更新。从技术、商业逻辑整体看，KrF（氟化氪）光刻110nm芯片已经是最极限的选择，当然，通过“多重曝光”、“分辨率增强”这类办法，KrF（氟化氪）也能拉到90nm，但芯片工厂基本不这么干，因为成本会变高，也会拉低良率，成熟制程的芯片本来就比较卷，对成本是比较敏感的。行业内的普遍做法是，制程如果再下探，就切换到波长更短的ArF（氟化氩）光源。

既然制程没有做更新，是不是说明了上海微手里的最强技术，就是到顶了呢？大家不要跟风夸大，同样，也无需过于灰心。能展示的模型，大概率是非常成熟的技术，而不是最先进的，或者次先进的。这一点，只可意会不可言传，大家耐心等待即可。

龙科多反而是从豆腐块新闻中，也看到了其他有价值的信息。例如，从600升级到800，“C、B”两种光源对应的制程没变，但整座平台实现了“换新”，有关的表述非常自信。

按照我们的分析，上海微的“600”平台属于早期平台，主要是解决国内280nm、110nm光刻机，从无到有的问题。一些关键零部件，应该还是国际供应链采购，自主性比较弱。

现在，成熟商用的“800”平台，其国产化率突破了90%，物镜、照明系统、双工件台、研磨台、物料传输系统、对准调平传感系统全都是国产的，甚至是上海微自主的。注意这里没有提光源，光源确实信息较为敏感，不过，既然已经具备大规模交付能力，那说明，全链路基本摆脱了海外供应链卡脖子风险。

另外，“800”平台相比“600”平台，成像性应该是更好。虽然技术上看，KrF（氟化氪）“极限”制程是110nm，但光刻芯片时，不仅要看刻得多细，也要看对齐得准不准，也就是所谓的“套刻精度”。芯片是一层又一层刻出来的，上下层对准时，肯定有些偏差。“套刻精度”高，证明上下层对准时的偏差很小，那芯片的良率就会提高。所以，大家要重点关注上海微公众号上的这句话，新一代光刻机“套刻精度”紧密追赶国际标杆。