【从3D NAND字线到HBF堆叠:一根钨丝如何重塑中船特气的未来】一、从一个被忽视的化学反应说起在所有关于AI存储器的讨论里,人们谈论带宽、容量、功耗、互连架构,却鲜少有人关注一个发生在晶圆表面几纳米空间里的基础化学反应:WF₆ + H₂ → W + 6HF六氟化钨气体在高温腔体内被氢气还原,在高深宽比
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