我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束

1月17日，中核集团透露，由其旗下中国原子能科学研究院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）近日成功出束，核心指标达到国际先进水平。该成果标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链的关键环节。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造“四大核心装备”。此次突破是核技术与半导体产业深度融合的重要成果，将有力提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力，并为助力“双碳”目标、加快形成新质生产力提供技术支撑。