Jerrold_Tech 26-01-26 13:02
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华为正在为 GAA(纳米片/纳米线)工艺积累理论基础与技术细节

随着半导体工艺的发展,当 FinFET 继续缩小时,短沟道效应、阈值控制、漏电与寄生耦合会越来越难压;而 GAA 的全包围栅静电控制更强,是继续缩放的重要方向。

🌸技术路线目前瞄准的就是先进节点的“硬伤”之一:栅-源/漏寄生电容(Cgs/Cgd)在缩放后会显著拖慢开关、抬高动态功耗,并放大米勒效应带来的延迟。

整体思路是:不光靠材料,也从几何形状动刀,通过多段蚀刻把栅极侧壁做成凹/凸的三维轮廓(而非一刀切的垂直直墙),在降低耦合电容的同时提升深蚀刻的可制造性与工艺窗口。

放眼业界,台积电 N3(3nm)仍以 FinFET 为主,而 N2(2nm-class)才切换到 GAA 纳米片。公开报道显示台积电 N2 已在 2025 年第四季度进入量产爬坡/量产,并给出相对 N3E 的性能/功耗/密度改进区间(例如 25–30% 功耗改善以及 15–20% 密度提升,具体能耗比要结合设计等环节)

注:这不等同于华为的工艺节点很快就跨越到所谓的 3nm/2nm,请理性看待。

发布于 广东