EUV光刻必备：氮气国内优秀的6家公司。
EUV光刻必备氦气，国内优秀的6家公司。
·1、华特气体。主营高端特种气体研发、生产与销售，核心布局半导体级超纯氦气，是国内唯一量产6N超纯氮气的企业。公司掌握超纯氮气提纯核心技术，产品通过ASML等国际权威认证，覆盖国内主流晶圆厂，半导体级氦气式战略行业领先，技术壁垒极高。
·2、广钢气体。主营高纯氦气、特种气体供应与分销，是国内最大高纯氦气运营商之一。公司构建多气源供应体系，具备规模化提纯与储运能力，供应链运力占比高，氦气分销市占率领先，覆盖主要半导体与工业客户，并布局商业航天氦气项目。
·3、杭氧股份。主营空分设备制造与氦气提纯、生产，打造"设备+气源"全链条，年产氨气约96万标方。公司空分设备核心技术自主可控，市占率行业第一，提氦工艺成熟，适配大尺寸空分与天然气提氦场景，自产氮气深度绑定下游头部企业。
·4、九丰能源。主营LNG清洁能源与特种气体业务，依托LNG-BOG提氦技术布局高纯氦气生产分销，年产能约150万标方。公司BOG提氦工艺成熟，产品通过航天级认证，广泛应用于半导体、商业航天等高精尖领域。
·5、金宏气体。主营工业气体研发、生产与销售，拥有成熟氮气回收提纯技术，构建"回收+外购+租赁"气源模式。公司供应体系稳定，服务半导体及工业客户，在氦气循环利用领域布局领先，成本控制能力突出。
·6、水发燃气。主营LNG生产、燃气装备与氦气提纯，鄂尔多斯项目实现5N级高纯氦气量产，年产能约20万方。公司掌握BOG提氦膜分离与低温精制核心技术，积极布局国家氦气战略储备，产能持续扩张。