光刻机概念股梳理：

一、整机与核心关联

• 张江高科：参股上海微电子，国内唯一前道光刻机整机厂商

• 芯碁微装：直写光刻龙头，用于先进封装、PCB

• 苏大维格：微纳光学光刻机，高精度纳米光栅

二、光学系统

• 茂莱光学：光刻机核心光学部件供应商

• 福晶科技：光刻光源用非线性光学晶体龙头

• 波长光电：DUV投影物镜、光学镜头

• 奥普光电：曝光光学系统研发

• 永新光学：对准检测光学部件

三、光源 / 激光系统

• 炬光科技：光刻用光场匀化器

• 凯美特气：光刻准分子激光气

• 华特气体：高纯电子特气，适配先进制程

四、精密结构 / 真空 / 温控

• 富创精密：光刻机精密金属结构件

• 新莱应材：高纯真空、气体管路系统

• 同飞股份：高精度温控设备

• 中瓷电子：精密陶瓷零部件

• 珂玛科技：先进陶瓷、静电卡盘

五、光刻胶及配套材料

• 南大光电：ArF光刻胶量产

• 雅克科技：光刻胶、电子特气

• 广立微：光刻相关EDA、良率提升

六、控制与配套设备

• 电科数字：纳米级运动控制

• 蓝英装备：光刻胶处理、清洗系统

公开资料梳理，不作投资建议