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国产光刻机10家核心企业，值得收藏

1. 福晶科技（002222）
全球光学晶体龙头，LBO/BBO晶体是DUV光刻机光源核心，为国产光源科益虹源供货，技术壁垒极高。

2. 炬光科技（688167）
主攻光刻机光源光场匀化，微透镜阵列已批量供货国产光刻机，解决光斑均匀性痛点，稀缺性强。

3. 茂莱光学（688502）
为上海微电子提供光刻机精密光学元件（透镜、棱镜），是物镜系统核心配套，属02专项国家队。

4. 波长光电（301421）
国内少数做DUV光刻机照明系统的企业，光学镜片、匀光整形元件直供头部设备厂。

5. 腾景科技（688195）
提供光刻机照明/检测系统精密光学件，非球面透镜、合分束器是光路关键“精密积木”。

6. 华卓精科（688368）
国产光刻机双工件台唯一核心厂商，打破ASML垄断，是运动控制核心系统，战略级标的。

7. 富创精密（688409）
半导体设备精密零部件龙头，提供光刻机腔体、结构件、传输模组等核心“骨架”。

8. 新莱应材（300260）
高洁净管件、阀门、腔体龙头，是光刻机特种气体输送系统的“血管”。

9. 中瓷电子（003031）
光刻机精密陶瓷核心供应商，静电卡盘、陶瓷部件保障纳米级热稳定性，已批量应用。

10. 奥普光电（002338）
长春光机所平台，承担02专项曝光光学系统研发，是物镜、检测系统的“光学国家队”。

免责：以上为产业链梳理，不构成投资建议，股市有风险，投资需谨慎。