半导体设备，核心公司梳理（附名单）

半导体设备是集成电路、各类芯片及半导体元器件生产制造全过程中，所使用的专用精密工业装备总称，是半导体产业发展的核心基础硬件。

前道设备

刻蚀设备

相关公司：北方华创、中微公司、屹唐股份、神工股份、先锋精科等

北方华创：公司在半导体装备领域提供刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入、涂胶显影、键合等核心工艺装备。2025年公司刻蚀设备收入超百亿。

中微公司：面向全球的高端半导体微观加工设备公司。公司主要为集成电路、LED芯片、MEMS等半导体产品的制造企业提供刻蚀设备、MOCVD设备及其他设备。

屹唐股份：面向全球集成电路制造厂商提供包括干法去胶设备、快速热处理设备、干法刻蚀设备在内的集成电路制造设备及配套工艺解决方案。

薄膜沉积设备

相关公司：北方华创、拓荆科技、微导纳米、中微公司、先锋精科等

北方华创：公司在半导体装备领域提供刻蚀、薄膜沉积、热处理、湿法、离子注入、涂胶显影、键合等核心工艺装备。2025年薄膜沉积设备收入超百亿。

拓荆科技：国内半导体薄膜沉积设备头部厂商。

微导纳米：半导体、泛半导体高端微纳装备制造商，主营先进微、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产和销售。

清洗设备

相关公司：盛美上海、至纯科技、芯源微、富乐德、华海清科、新莱应材、蓝英装备、国林科技、屹唐股份等

盛美上海：中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商。主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。

至纯科技：国内高纯工艺系统及湿法设备主要供应商之一，化学品设备及系统的市占率国内居前。

芯源微：国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头企。

化学机械抛光设备

华海清科：公司CMP（化学机械抛光）设备在国内市占率较高，已基本覆盖国内12英寸集成电路大生产线。

涂胶显影机

芯源微：国内涂胶显影、单片式湿法设备龙头企业，国内唯一可以提供量产型前道涂胶显影设备的公司。

离子注入机

先导基电：旗下全资子公司凯世通主营离子注入机，已实现了低能大束流系列离子注入机和高能离子注入机产业化应用。

前道检测设备

相关公司：精测电子、赛腾股份、中科飞测、天准科技、埃科光电、骄成超声等

精测电子：显示和半导体前道的检测设备领头企业。

赛腾股份：公司在半导体设备的晶圆检测及量测设备细分市场中具有重要地位。

中科飞测：国内领先的高端半导体质量控制设备公司，专注于检测和量测两大类集成电路专用设备的研发、生产和销售。

后道设备

划片机

光力科技：全球领先的半导体切割划片装备企业，全球少数同时拥有切割划片量产设备、空气主轴及刀片产品的企业。

封装设备

相关公司：新益昌、奥特维、三佳科技、耐科装备等

新益昌：国内半导体、新型显示封装和电容器老化测试智能制造装备领先企业。

奥特维：公司提供划片机、装片机、铝线键合机、AOI检测设备等半导体封测设备。

测试设备

相关公司：长川科技、华峰测控、金海通、联动科技、矽电股份、和林微纳等

长川科技：国内为数不多可以自主研发、生产集成电路测试设备的企业。

华峰测控：公司主营半导体自动化测试系统的研发、生产和销售。国内最早进入半导体测试机行业的企业之一，国内最大的半导体测试系统本土供应商。

金海通：公司从事研发、生产并销售半导体芯片测试设备，深耕集成电路测试分选机领域。

半导体洁净室

相关公司：柏诚股份、亚翔集成、圣晖集成、金螳螂、美埃科技、创元科技、盛剑科技、祥明智能、华康洁净、扬子新材等

柏诚股份：国内少数具备承接多行业主流项目的洁净室系统集成解决方案提供商之一。

亚翔集成：公司专注IC半导体、光电等领域厂房的高端洁净室工程。

圣晖集成：公司主营洁净室工程，主要服务于IC半导体、光电面板领域客户。

半导体设备零部件

先锋精科：专注于半导体前道核心设备中的核心关键零部件的研发和制造，部分产品已量产供应7nm及5nm国产刻蚀设备。

富创精密：中国领先的半导体设备精密零部件企业，全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。

新莱应材：国内唯一覆盖真空半导体、生物医药、食品安全三大领域的高洁净应用材料制造商。

京仪装备：半导体专用温控设备国内市占率第一，半导体专用工艺废气处理设备国内市占率前四。

恒运昌：国内领先的半导体设备核心零部件供应商。

汉钟精机：公司已有能满足半导体最先进工艺的全系列中真空干式真空泵产品，并拥有SEMI安全基准验证证书。

核心公司精解，关注

以上内容为客观梳理，仅供参考，不构成投资建议。