俄罗斯和白俄罗斯合作推出了俄联邦首台130nm光刻机原型机，验收证书已经于2026年8月7日签署。

俄罗斯泽勒诺格勒纳米技术中心与白俄罗斯普拉纳公司一起完成了设计规范为130纳米的光刻机原型机的开发和制造。这是俄罗斯有史以来最先进的国产光刻机，俄白专家们除了研发制造出了光刻机本身外，还开发了两个波长为193纳米的Eximer激光器原型，研发生产了光模板和测试机构装置，研发生产并组装了光学性能控制台，完善了基本工艺流程。批量生产的合同将在2027年与用户签订。

@豫章儿 @爱学外语的大魔王 @Root_of_Evil_Chaos_HDStPM