国产光刻机关键零部件突破 90%，进博会现场已实现量产|上海微电子装备集团|进博会|光刻机_新浪新闻

孤烟暮蝉

26-11-09 14:17 微博认证：科技博主头条文章作者

中国新一代光刻机关键零部件国产化率突破90%，模型亮相进博会。已实现定型与规模化量产。 http://t.cn/AXYS94fh

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