俄罗斯国产130纳米光刻机将于年底前进行测试。
130纳米光刻机的验收测试计划于秋季启动，预计将于2026年底前完成。俄罗斯工业和贸易部负责人阿里哈诺夫介绍，该设备的研发工作已进入最后阶段，配套的俄罗斯产准分子激光器也已完成测试。
与此同时，研发分辨率为90纳米的扫描式光刻机的技术规格也已制定完毕。目前，该新型光刻机研发承包商的遴选工作正在进行中。
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发布于 加拿大
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