【#三星“抢料”EUV空白掩膜版:豪雅产能吃紧,新厂远水难解近渴#】#三星##EUV空白掩膜版#
据韩媒消息,韩国半导体行业人士透露,三星电子半导体采购部门对明年的生产工艺情况进行模拟后,判断EUV空白掩膜版用量将大幅增长,因此向日本空白掩膜龙头豪雅(HOYA)提出,希望增加空白掩膜版供应量。但豪雅表示,其他半导体制造商的需求也在大幅增长,难以完全满足三星电子提出的增供要求。
掩膜版是光刻工艺的图形母版、晶圆制造第三大材料,而空白掩膜版则是掩膜版上游的关键环节之一。若空白掩膜版供应不足,新芯片开发的光掩模版制造以及量产过程中光掩模版更换都将受到延误。三星此次主动向豪雅求增供,正是基于对明年EUV用量增长的预判。
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