【#光学散射计量技术研究取得进展#!】在先进光学制造中,光栅纳米级微结构参数的快速、无损、高精度测量仍面临挑战。传统物理反演方法计算开销较大,显微测量方法则存在效率低、成本高和难以在线检测等问题。 近日,中国科学院上海光学精密机械研究所等团队在基于深度学习的光学散射计量技术方面取得
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