没事搜搜老报道挺有意思的，当年EUV还在构想阶段的时候其实瞄准的是sub-70nm制成，只不过EUV的实际进度还是大幅度落后于一开始的预计，加上DUV多重曝光/浸润式DUV的出现，使得EUV在2020年代才进入实用化。另外这个10GHz现在看来也是令人忍俊不禁，当年还是堆频率，现在变堆核心了 ​​​​