半导体制造中最被低估的奇迹之一就是真空泵。

高端干式真空泵可以以90000 RPM的速度旋转，连续7x24小时运行数年，维持超洁净的真空环境，承受腐蚀性工艺气体，并保持微米级别的公差。

这些涡轮真空泵每台的成本在10000至25000美元以上。

没有它们，就没有芯片，没有AI GPU，没有智能手机。 http://t.cn/AXaScQfL