MFC质量流量控制器 10家核心企业梳理

1. 高凯技术
国产首款半导体级压电式MFC量产，专攻半导体前道气体精准控制，纯正核心标的
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2. 北方华创
旗下华丞电子自研自产半导体MFC，设备自用+对外供货，行业龙头配套
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3. 矩子科技
自研压电陶瓷阀，与MFC压电驱动技术同源，目前自用配套点胶设备
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4. 燕麦科技
设备切入MFC产业链，主营压电陶瓷电容检测，服务MFC原材料环节
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5. 星源材质
收购邦瓷电子，量产多层压电陶瓷驱动器，为MFC核心阀件原料
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6. 海宁皮城
参股派和科技，布局压电陶瓷设备，压电陶瓷为MFC关键零部件
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7. 汇中股份
参股企业量产压电传感元器件，技术原理与MFC微流体控制同源
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8. 荣旗科技
参股企业设备用于MFC压电陶瓷原材料成型，切入上游制备环节
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9. 万讯自控
自研半导体级MFC，布局特气流体控制，目前处于客户验证阶段
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10. 高斯贝尔
子公司主营PZT压电陶瓷，为半导体MFC核心阀件基础材料