【国产光刻机#SSA800 实现批量交付#】#光刻机#

据报道，上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）自主研发的 SSA800 系列 28nm 浸没式 DUV 光刻机，近日完成首批批量交付，进入量产工艺验证阶段。
该机型 2025 年 7 月通过工信部专家组的验收，完成了全流程技术验证。2026 年 1 月，上海微电子在长三角半导体产业峰会上，首次官宣 SSA800 系列 实现全面量产，量产良率稳定在 90% 以上。2026 年 3 月，在 SEMICON China 2026 国际半导体展览会上，上海微电子首次公开展示了该机型。http://t.cn/AXivti8s