2026工博会现场传来振奋人心的好消息
朗道科技（朗道燧岩）首次对外展示了一台EUV光源系统的样机
这是目前公开展示的国产进度最快的EUV光源样机
本次展出的光源系统国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致
不过仍需注意的是，根据现场工作人员的介绍，该装置距离量产仍需3-5年的时间，也就是2029-2031年
发布于 吉林