#国产EUV光源#“道阻且长，行则将至。”国内EUV光源采用多条技术路线并行攻关，一边跟进成熟的激光等离子体方案，一边探索稳态微聚束这类颠覆性新路径。传统路线持续打磨光学元件夯实基础，SSMB方案另辟蹊径，跳出海外现有技术框架。多路线布局，可规避单一方案失败带来的研发风险。半导体核心技术没有捷径，多条赛道同步探索，是保障技术突围的稳妥策略，为EUV光源产业化储备更多可能性。
“核心技术是国之重器，要牢牢掌握在自己手中。”EUV光源是高端光刻机的心脏，也是半导体产业链的卡脖子环节。当前国内仅完成部分关键技术验证，距离产业化应用仍有漫长工程化路程。海外成熟方案历经数十年迭代，我们不可能一蹴而就。持续投入基础科研、坚持长期主义，循序渐进补齐光学、控制等短板，方能稳步提升产业链自主可控能力，夯实我国半导体产业根基。 http://t.cn/AXljoQ9Q