【“中国刻蚀机之父”尹志尧：我们现在已经有能力来做最先进的设备】据央视财经，中微半导体设备（上海）股份有限公司董事长兼总经理尹志尧表示，2023 年 12 月，中微决定进入大平板设备领域（此前大概有 17 种工艺设备全部依赖进口）。这种设备重达 150 吨，长 15 米宽 15 米，有两层半楼高。
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